2021 ~ 현재
- 2026.02 ANAFAZE CONTROLLER TEMPERATURE 12CHANNEL 인증 취득
2011 ~ 2020
- 2020.12 1천만불 수출의 탑 수상
- 2018.12 병역지정업체(산업기능요원) 선정
- 2016.08 Lam Research와 MSA(기본공급계약) 종료
- 2011.07: 한-EU FTA 원산지 인증 수출자 취득
- 2011.04 기업부설연구소 설립 설립
2001 ~ 2010
- 2008.12 Lam Research 업그레이드 센터 지정
- 2008.11 전략물자 자율준수무역거래자(CP) 인증
- 2008.10 ISO14001 인증 획득 (환경경영시스템)
- 2007.11 제조(수리)공장지정 승인
- 2007.08 Lam Research와 MSA(기본공급계약) 체결
- 2007.06 신축 사옥 이전
- 2007.01 이노비즈(INNO-BIZ) 인증 취득
- 2006.12 벤처기업 인증 취득
- 2006.02 Oxide Etcher(E5) 출시
- 2005.10 ISO9001 인증 획득 (품질경영시스템)
- 2005.09 Evenhanded CamRing 개발
- 2003.03 EGV200 출시
- 2002.12 EDES2800 출시
- 2002.05 Thin Wafer Transfer Arm 개발
- 2002.03 REX4520 출시
- 2001.04 EDD 설립
1998 ~ 2000
- 1998.10 Thermo Elec Chiller 개발
- 1998.05 사업 개시